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菁優(yōu)網“傳統(tǒng)”光刻機利用光源發(fā)出的紫外線,將精細圖投影在硅片上,再經技術處理制成芯片.為提高光刻機投影精細圖的能力,“浸沒式”光刻在投影物鏡和光刻膠之間填充液體,以便提高分辨率,如圖所示.若浸沒液體的折射率為1.7,當不加液體時光刻膠的曝光波長為187nm,則加上液體后(  )

【答案】B;C
【解答】
【點評】
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發(fā)布:2024/8/9 8:0:9組卷:20難度:0.7
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