在芯片制造過程中,離子注入是其中一道重要的工序。如圖所示是離子注入工作原理示意圖,離子經加速后沿水平方向進入速度選擇器,然后通過磁分析器,選擇出特定比荷的離子,經偏轉系統后注入處在水平面內的晶圓(硅片)。速度選擇器、磁分析器和偏轉系統中的勻強磁場的磁感應強度大小均為B,方向均垂直紙面向外;速度選擇器和偏轉系統中的勻強電場場強大小均為E,方向分別為豎直向上和垂直紙面向外。磁分析器截面是內外半徑分別為R
1和R
2的四分之一圓環(huán),其兩端中心位置M和N處各有一個小孔;偏轉系統中電場和磁場的分布區(qū)域是同一棱長為L的正方體,其偏轉系統底面與晶圓所在水平面平行,間距也為L。當偏轉系統不加電場及磁場時,離子恰好豎直注入到晶圓上的O點(即圖中坐標原點,x軸垂直紙面向外)。整個系統置于真空中,不計離子重力,打在晶圓上的離子,經過電場和磁場偏轉的角度都很小。當α很小時,有sinα≈tanα≈α,cosα≈1-
α
2。求:
(1)離子通過速度選擇器后的速度大小v和磁分析器選擇出來離子的比荷
;
(2)偏轉系統僅加電場時離子注入晶圓的位置,用坐標(x,y)表示;
(3)偏轉系統僅加磁場時離子注入晶圓的位置,用坐標(x,y)表示;
(4)偏轉系統同時加上電場和磁場時離子注入晶圓的位置,用坐標(x,y)表示,并說明理由。