光刻機(jī)是芯片制造的核心設(shè)備之一，其工作原理如圖所示。下列說法正確的是（ ）
①縮圖透鏡是凸透鏡，晶圓相當(dāng)于光屏；
②掩膜在晶圓上的像是正立縮小的虛像；
③要想晶圓上的像變小，需將掩膜和晶圓向上移動；
④將掩膜和晶圓向下移動相同距離，晶圓上還能成清晰的像。
【答案】A
【解答】
【點評】
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發(fā)布：2024/4/20 14:35:0組卷：340引用：5難度：0.8
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