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菁優(yōu)網在芯片制造過程中,離子注入是其中一道重要的工序。如圖,是離子注入工作原理示意圖,正離子質量為m,電荷量為q,經電場加速后沿水平方向進入速度選擇器,然后通過磁分析器,選擇出特定比荷的正離子,經偏轉系統(tǒng)后注入處在水平面上的晶圓硅片。速度選擇器、磁分析器和偏轉系統(tǒng)中勻強磁場的磁感應強度大小均為B,方向均垂直紙面向外;速度選擇器和偏轉系統(tǒng)中勻強電場的電場強度大小均為E,方向分別為豎直向上和垂直紙面向外。磁分析器截面是內外半徑分別為R1和R2的四分之一圓弧,其兩端中心位置M和N處各有一小孔;偏轉系統(tǒng)中電場和磁場的分布區(qū)域是一棱長為L的正方體,晶圓放置在偏轉系統(tǒng)底面處。當偏轉系統(tǒng)不加電場和磁場時,正離子恰好豎直注入到晶圓上的O點,O點也是偏轉系統(tǒng)底面的中心。以O點為原點建立xOy坐標系,x軸垂紙面向外。整個系統(tǒng)處于真空中,不計正離子重力,經過偏轉系統(tǒng)直接打在晶圓上的正離子偏轉的角度都很小,已知當α很小時,滿足:sinα=α,cosα=1-
1
2
α
2
。
(1)求正離子通過速度選擇器后的速度大小v及磁分析器選擇出的正離子的比荷;
(2)當偏轉系統(tǒng)僅加磁場時,設正離子注入到顯上的位置坐標為(x,y),請利用題設條件,求坐標(x,y)的值。

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發(fā)布:2024/6/27 10:35:59組卷:119引用:3難度:0.5
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    (1)粒子從加速電場射出時速度ν的大?。?br />(2)粒子速度選擇器中勻強磁場的磁感應強度B1的大小和方向.
    (3)偏轉磁場的磁感應強度B2的大小.

    發(fā)布:2024/9/14 5:0:10組卷:366引用:19難度:0.5
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    (2)求加速電場的電壓;
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    發(fā)布:2024/11/7 8:0:2組卷:49引用:2難度:0.5
  • 3.甲、乙、丙、丁四幅圖分別是回旋加速器、磁流體發(fā)電機、速度選擇器、霍爾元件的結構示意圖,圖丁中元件的導電粒子是自由電子。下列說法中正確的是( ?。?br />菁優(yōu)網

    發(fā)布:2024/9/29 0:0:1組卷:166引用:2難度:0.5
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